▪ 实验室简介

 ▪ 科研团队

发展定位

研制国内首套晶圆级高通量阴极荧光（CL）成像设备，具纳米级空间、 百纳秒级时间分辨与大晶圆兼容能力

研究方向

·高通量电子显微与晶圆级检测                           ·亚波长缺陷检测与溯源

·光电同步成像                                                     ·半导体材料/工艺质量评估体系构建

发展​​​​​​​路线 

​​​​​​​需求牵引 + 自主研发； 与行业龙头深度协同；赋能产业升级，推进产学研融合​​​​​​​​​​​​​​

 ▪ 实验室规划

科技创新

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